離子注入的 UPTIME^®負壓氣體輸送系統

運送超高純度及安全性

UpTime®負壓輸送氣體鋼瓶係專為離子佈植機之使用而設計。UpTime 系統可提供低成本，高產品容量及純度。 

UpTime 裝置具有多重安全保障，包含機械式真空致動開關、內部限流裝置、防破壞手動閥及連接使用端，設計具備最大的安全性及操作保證。無論氣瓶的溫度、海拔高度或填充量，系統的連接埠真空等級介於 100 與 610torr之間。沒有達到足夠真空時氣體無法從 UpTime氣瓶流出。 

由於每個氣瓶的可使用容積顯著增加，UpTime 系統可以減少氣瓶的更換頻率，減少因停機造成的工時損耗。更可降低操作人員暴露在危險氣體下的風險。 

UpTime 氣體輸送系統的設計能降低您生產成本及達到製程效率最大化，並且提供最高等級的安全性。探索我們的 UpTime 產品系列，找出符合您需求的產品。